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AOI機器視覺行業(yè)先行者

康耐德智能晶圓表面臟污及劃痕缺陷視覺檢測系統(tǒng)

發(fā)布時間:2025-03-30瀏覽量:222

  晶圓缺陷視覺檢測是半導體制造過程中的關鍵環(huán)節(jié),它能夠確保晶圓的良品率和生產(chǎn)效率。目前,機器視覺算法結合晶圓缺陷檢測方法因其普適性強、速度快而廣泛應用于工業(yè)檢測中。

  康耐德智能晶圓表面臟污及劃痕缺陷視覺檢測系統(tǒng),可以高效識別晶圓表面缺陷并分類、標記,輔助晶片分揀。能夠通過視覺定位、視覺檢測等技術,提供了高精度的視覺檢測解決方案。

圖1-結果圖.jpg

  核心功能涵蓋:

  1.表面劃痕檢測:能夠快速識別晶圓表面的劃痕,無論劃痕的位置、方向和長度。

  2.臟污檢測:可以檢測晶圓表面的顆粒、異物污染等臟污缺陷。

  3.破損檢測:對晶圓表面的破損進行識別,并計算破損面積及定位。

  4.其他缺陷檢測:還包括對晶圓表面的毛刺、裂紋、凹坑、凸起等缺陷的檢測

  系統(tǒng)通過高分辨率的工業(yè)相機和多種光源,實現(xiàn)對晶圓表面的全方位、無死角掃描,結合深度學習模型,能夠自動識別復雜多樣的缺陷類型并自動標記,實現(xiàn)全自動化檢測,提高檢測精度和效率。

  康耐德智能晶圓缺陷視覺檢測系統(tǒng)廣泛應用于半導體制造的多個環(huán)節(jié),包括晶圓制造、封裝測試等,能夠有效提升晶圓的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質量。

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